应用五-用于硅片清洁处理的VAQUA湿式喷砂机
在制造加工前，所有的原材料表面必须先进行彻底且正确地清洁处理，然后放入高温熔炉中熔化，通过晶化工艺形成硅锭，再对硅锭进行切割和成形处理，制成硅片。
清洁方法有机械喷砂和化学酸洗。但化学方式，清洁剂的成本高，更重要的是处理后的废水含有大量有害物质，危害环境和健康，很多厂商无法解决化学清理带来的排放问题。
传统的干喷方法，即使具备高性能除尘单元，但仍无法避免硅灰尘污染工作环境，粉尘残留于处理硅的表面，还会降低硅纯度。为了克服这些问题，该公司推出的VAQUA湿式喷砂系统。该系统由一个深1200mmx宽1320mmx高76mm的喷砂柜组成，内置一个直径为1067mm的重型转台，可实现连续清理工作。具有高效的清洁能力，更干净的表面，不产生粉尘，丸料耗用低，对设备磨损小。
湿式喷砂清理硅片的优势：
由于硅原料成本昂贵，所以在硅锭制造中，能最大程度地循环利用那些原本要丢弃的硅料，并确保可回收硅材料的纯度是关键，可大大节省原料成本。利用这种湿式喷砂系统，在最大化硅利用率的同时，能保障优质硅锭和硅片，使客户在单位硅中获取更高利润。