4、检查晶棒是否被完全切透成薄片;(如果没有,请在profile里将切割结束的位置再向下切 1mm ,最低位置设定为: –133.5 mm ,并继续运行切割。)
5、按F13,S10,将进给速度降为: 20mm/min ;在手动模式下,按S13,升起切割后的晶片,将工作台升到 》 +1mm.同时要检查所有的切割线在升起过程中正常。按F13, S2 。使返回工作台按钮闪烁,并将作业台自动回升到装/卸工件的位置。
6、将工件解开缩紧。
7、将工件从机器中取出。
8、关上前门。
八、脱离硅片
两人各持夹持导轨的一端,将晶棒移出泡片盒,来到脱胶水槽上方,用力将晶棒翻转过来,放在水槽中。先用洁净的冷水冲洗硅片,将付着在硅片上的浆料冲洗干净,然后用65度的热水浸泡,使胶软化,硅片能从玻璃垫条上取下来。注意热水不能飞溅到硅片上,热水也不能浸泡到硅片上。取下的硅片按《粘晶棒记录表》的顺序摆放在盛有清水的容器中。将脱离硅片的夹持导轨从脱胶水槽中取出,松开螺栓,取下导轨,将玻璃垫条和金属垫条放在脱胶加热器上准备脱胶。
九:脱离玻璃垫条
打开脱胶加热器,等待30分钟左右,用小铲插入玻璃垫条和金属垫条之间,使玻璃垫条和金属垫条分离。脱离下的玻璃垫条丢弃,将金属垫条上固化的胶清理干净,冷却后等待下次切割。