3.4 参数设置
粗抛:温度85℃±2℃; 时间 2~3.5min。
制绒:温度77℃±2℃; 时间20~30min。
喷淋:时间1.8min以上。
鼓泡漂洗:温度70℃±5℃;时间2.0min以上。
3.5 生产过程
3.5.1 把包塑不锈钢提篮放于进料口轨道架上,将盛满硅片的硅片盒扣好压条后装入包塑不锈钢提篮,一篮3盒。
3.5.2 运行模式设置为“自动”,按“启动”键启动程序,按照制绒机设定好的参数进行生产。
3.5.3 每制绒一篮(300片),粗抛液、制绒液内都要补充NaOH,补充量根据消耗量确定,并适当补充去离子水。
3.5.4 硅片依次经过粗抛、制绒、喷淋、鼓泡漂洗后从下料口下料,取下硅片盒上的压条。
3.5.5 抽取样本进行观察,称量,确定绒面质量是否合格。
3.5.6 对于绒面质量合格的硅片,详细填写工艺流程卡,流向下一道工序。
3.5.7 对于绒面质量不合格的硅片,要重新制绒,重新制绒的工艺时间要根据具体情况而定。
3.6 关机
把产量设为当前产量,机器完成后会自动停止。关闭电源,锁上电锁,关闭气体阀门,关闭总电源,锁好电柜。清洁、维护设备。
3.7 溶液的定期调节
3.7.1 粗抛液3个工作日要彻底换一次液,换液时要彻底清洗槽子,用抹布擦干净槽子边沿、槽底和加热电阻丝上的沉积物。
3.7.2 制绒槽从上次调液(或新配液)开始累计生产量达到4000片时,要放掉1/3溶液,加750gNaOH和5瓶无水乙醇,试片,稳定后进行生产。