一般的自来水和普通的蒸馏水中都含有一些杂质离子如钠离子、钾离子、镁离子、钙离子、氯离子、硫酸根离子、碳酸根离子、硅酸根离子、氨分子等杂质，而硅片的清洗过程要求高纯度的水，这样才能达到硅片清洗的要求。如果用自来水或蒸馏水清洗硅片，不但不能洗干净，反而玷污硅片表面。因此冲洗硅片必须使用含离子少的高纯水，一般称为去离子水。目前制备去离子水采用离子交换树脂法和反渗透法制备。下面分别作一一介绍。
1.离子交换树脂法
离子交换树脂属于高分子聚合物，不溶于水的颗粒状固体物质。当离子交换树脂与含有各种离子的水接触时，一方面离子交换树脂吸附水中的离子，另一方面离子交换树脂把自身所含的离子释放出来进入水中，即发生了离子交换反应。因而称为离子交换树脂。
（1）离子交换树脂的分类：
阳离子交换树脂：强酸性阳离子交换树脂，如R-SO3H
弱酸性阳离子交换树脂，如R-COOH
阴离子交换树脂：强碱性阴离子交换树脂，如R=NOH
弱碱性阴离子交换树脂，如R-NH3OH
