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  金属半导体接触

  具有整流效应的金属半导体接触叫做肖特基接触,以此为基础制成的二极管称为肖特基二极管。

  没有整流效应的金属半导体接触叫做欧姆接触

  在一定范围内,半导体的电阻随温度的升高而降低,金属导体的电阻随温度的升高而升高。由于电流通过后要产热,两个按一定比例串联接入电路后,刚好互补,从而使电阻不随温度的变化而变化。欧姆接触时,接触面的电阻值远小于半导体本身的电阻,大部分的电压降在于活动区而不在接触面。即欧姆接触不会形成附加的阻抗,不会影响半导体中的平衡载流子浓度。

  一般的本征半导体和金属接触产生肖特基势垒,如果半导体有很高的掺杂浓度,则接触近似为欧姆接触。

  用E0表示真空中金属表面外静止电子的能量,那么,一个电子要从金属跃迁到体外所需的最小能量为

  Wm=E0 - Efm

  称为金属的功函数或逸出功。(由费米能级的意义可知,能量小于费米能级的量子态被电子占据的概率是很高的,大部分电子处于费米能级以下)

  同样的,对于半导体材料,半导体 的功函数就是E0和费米能级Efs之差,即

  Ws=E0 - Efs

  当金属和n型半导体材料接触时,如果金属的功函数大于半导体的功函数,那么金属的费米能级就低于半导体的费米能级,而且两者的费米能级之差就等于功函数之差,即

  Efs - Efm = Wm-Ws

  接触后,虽然金属的电子浓度要大于半导体的电子浓度,但由于金属的费米能级低于半导体的费米能级,导致半导体中的电子流向金属。(类似于电子由n流向p)

  理论上讲,要形成欧姆接触,金属的功函数必须小于n型半导体功函数,即n型半导体的费米能级小于金属费米能级。但除了金属的功函数外,还有其他因素影响欧姆接触的形成,其中最重要的是表面态。当半导体具有高表面态密度时,金属功函数的影响甚至将不再重要(这也是Wm>Ws时,也可形成欧姆接触的原因)。根据欧姆接触的性质,实际工艺中,常用的欧姆接触制备技术有:低势垒接触、高复合接触和高掺杂接触。

  高掺杂接触,是在半导体表面掺入高浓度的施主或受主电学杂质,导致金属半导体接触的势垒很薄(掺杂使禁带宽度变窄?)。在室温下,电子通过隧道效应产生隧道电流,从而不能阻挡电子的流动,接触电阻很小,最终形成欧姆接触。

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