NO.6美国Kayex 公司
【先进产品】
型号: Vision300
投料量:300kg
规格:12~16 英寸
阶段:现已实现量产。
KAYEX公司是目前世界上最大,最先进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初就进入中国市场,已成为中国半导体行业使用最多的品牌。该公司生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
NO.7日本Ferrotec 公司
【先进产品】
型号:FT-CZ2408BZ
投料量:150kg,
规格:8 英寸,
阶段:现已实现量产。
Ferrotec是具有多元化技术的跨国集团,在中国分别设立杭州和上海两个据点。在诸如终端产品、制造设备和很多行业中,Ferrotec都有出众的市场表现。以磁性流体技术和磁流体密封技术为基石,Ferrotec不断探索新的技术领域。主要产品包括金刚石刀具,单晶炉,多晶炉,硬质合金锯片,石墨制品等等。
在近期单晶炉生产商先进产品的总结可以看出,近期国内外主要的单晶炉生产商7个席位里,国内便占据了4个席位,晶盛机电、天龙光电、京运通单晶炉建造项目仍在不断扩建,并预计未来的几年里达产。这充分说明国内生产商在设备水平上已经大步接近甚至赶超了国外厂商的先进技术水平。这样的数据也表明,国内生产商从产品和技术上提高了国际竞争力。而从另一个方面而言,除七星电子和天龙光电的两个型号机型已经量产,其他的生产厂商生产设备大都仍处于小批量生产或试验研发阶段,量产尚待一段时间准备,因此国内未投产的先进设备未来投产状况仍是需要关注的一个方向。